三維表麵形貌測量儀特點：
一款的3D光學測量儀
InfiniteFocus G5整合了微型三坐標測量係統和表麵粗糙度測量係統所有的功能。
和
LED環形燈的設計，使表麵測量的範圍幾乎不受限製。
高分辨，高可重複性和可溯源
即使對於複雜樣品表麵，仍可以獲得高達10納米的垂直分辨率
高測量速度
InfiniteFocus的測量速度可以達到170萬點/秒。
模塊化和可擴展性
新的功能可以很容易通過擴展測量模式整合
全自動
測量簡單且自動化程度高，如自動更換物鏡等