三維表麵測量儀是用於測量三維幾何尺寸和形位公差的高精度測量儀器。它克服了傳統投影儀和二維影像測量的不足，是集光學、機械、電子、計算機圖像處理技術於一體的高精度、率、高可靠性的測量儀器。可地檢測各種複雜精密零部件的輪廓和表麵形狀尺寸、角度及位置，全自動地進行微觀檢測與質量控製。

　　三維表麵測量儀的測量係統運用了PCB抄板技術研製而成，它采用白光軸向色差原理（性能優於白光幹涉輪廓儀與激光幹涉輪廓儀）對樣品表麵進行快速、重複性高、高分辨率的三維測量，測量範圍可從納米級粗糙度到毫米級的表麵形貌，台階高度，給MEMS、半導體材料、太陽能電池、醫療工程、製藥、生物材料，光學元件、陶瓷和先進材料的研發和生產提供了一個的、價格合理的計量方案。

　　三維表麵測量儀廣泛應用於汽車、電子、五金、塑膠、模具等行業中，可以對工件的尺寸、形狀和形位公差進行精密檢測，從而完成零件檢測、外形測量、過程控製等任務。

　　三維表麵測量儀的全自動測量過程中優異的影像識別能力使得全自動測量成為可能。批量的產品數百數據可以通過按一個按鈕實現自動測量和自動輸出結果，改變傳統的依靠經驗的手動測量方式，使自動測量的重複性控製在微米級，極大程度地提高檢測水平，促進製造品質的提高。

　　可以加裝激光、探針、轉台等傳感器，實現一個坐標係下的多元傳感的綜合應用，提供了複雜測量難題的解決方案。

　　使用冷光源係統，可以避免容易變形的工件在測量是因為熱變形所產生的誤差，並避免了由於碰觸引起的變形。

　　工件可以隨意放置，不需找正。不受零件表麵紋理和材質影響的高度方向的精密測量，實現真正的非接觸式的3D測量。使得微細製造的零件在測量高度、平麵度及空間角度等位置關係方麵成為可能，並且具有高可靠性的測量準確性和重複性。