——  白光幹涉三維形貌儀SPA25 ——

——  帶操縱杆的電動樣品台 ——

白光幹涉三維形貌儀SPA25的自動樣品台：

軟件或操作杆控製自動樣品台可準確測量定位，並能實現大麵積測量的自動移動和拚接功能，大測量麵積為：300mm*300mm。

——  帶操縱杆的電動樣品台 ——

白光幹涉三維形貌儀SPA25的軟件：

MountainsMap Imaging Topography software 強大的測量和分析軟件可完成所有表麵分 析的要求。計算表麵結構和表麵粗糙度符合不同的工業標準，如：ISO25178，ISO4287， ISO13565，ISO16610 等。

應用範圍廣：

由於結合了高的測量分辨率，快的測量速度和強大的分析軟件使 SPA25 三維形貌儀具有 非常廣的應用範圍。如大麵積樣品的 3D 表麵形貌測量，表麵缺陷測量，表麵結構測量， 表麵粗糙度測量等。 

——  10x 和 50x 顯微鏡物鏡 ——

顯微鏡物鏡

SPA 25 使用 Mirau 幹涉儀顯微鏡物鏡。這些物鏡具有不同的放大倍數，這些放大倍數會 影響 XY 尺寸的分辨率。請注意，由於利用了白光幹涉測量技術，Z 維度的分辨率與放大倍數無關。